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[인터뷰] 전영호 예스티 CTO

“고효율 초저온칠러 기술 바탕 콜드체인산업 영역 확장할 것”
다효사이클 설계⋯ 효율적으로 초저온 구현

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예스티(YEST)는 반도체 및 디스플레이 제조장치 전문기업으로 퍼니스(Furnace: 열처리장비), EDS칠러(Electrical Die Sorting Chiller), 챔버(Chamber) 등 다양한 장비를 생산하고 있다.

EDS칠러는 반도체 웨이퍼(Wafer)에 형성된 칩의 전기적 동작여부를 검사하는 EDS공정에서 발생하는 열을 효과적으로 제거한다. 이는 칩의 정확한 테스트와 안정적인 공정유지를 돕는 역할을 하는 설비로 반도체 EDS공정분야 필수장비다.

예스티는 메모리 및 파운드리 fab(fabrication: 반도체 제조라인) 내 약 1,900대의 EDS칠러를 유지보수·관리하고 있으며 매년 EDS공정용 신규장비를 200대 이상 출하하고 있다.

또한 초저온(-80°C) 신기술 냉각장치 및 진공배기, 열풍제어기술 등 다양한 열원제어기술을 확보하고 있으며 66건의 특허권을 등록했다.

최근 고온 및 저온 정밀제어기술로 콜드체인산업으로 영역확장을 준비하고 있다. 전영호 예스티 CTO를 만나 예스티 칠러의 경쟁력과 향후 비전 등을 들었다.
 
▎ 예스티를 소개한다면
예스티는 1998년 설립된 기업으로 2015년 코스닥에 상장했으며 7,000만불 수출탑을 수상했다. 반도체 및 디스플레이장비사업을 중심으로 퍼니스기술과 고압제어기술 등을 확보하고 있다.

디스플레이사업에서는 후공정용 라미네이션(Lamination), 반도체에서는 HBM(High Bandwidth Memory) 제조용 가압 및 상압 퍼니스와 칠러사업을 주축으로 하고 있다.

향후 반도체 전공정에서 웨이퍼 오염제어 및 고압어닐용 퍼니스분야로 시장을 확장할 계획이다. 과거 디스플레이 및 반도체 후공정 장비에 집중돼 있던 사업구조를 최근 반도체 전공정까지 확장해 사업 및 수익구조를 다각화하기 위해 힘을 쏟고 있다.

특히 고압어닐장비의 시장진입은 기업 역량을 한단계 끌어 올리는데 중요한 역할을 할 것으로 기대하고 있다.
 
▎ 주요 칠러 종류와 특장점은
예스티 칠러는 반도체 웨이퍼를 검사하는 ESD공정장비로 프로버(Prober) 1대를 제어하는 싱글타입(Single type)과 프로버 2대를 한 번에 제어하는 듀얼타입(Dual type) 제품을 보유하고 있다. 

-80~-65°C 범위의 초저온을 실현하는 냉동기술을 탑재하고 있으며 일반적인 다원냉동(이원냉동 및 삼원냉동)방식이 아니라 오토캐스케이드(autocascade)모듈을 설치해 하나의 압축기로 초저온을 실현하는 다효사이클방식으로 설계했다. 이로 인해 동일성능대비 장비 크기가 작아 비교적 좁은 공간에서도 설치가 가능하며 더 효율적으로 초저온을 구현할 수 있다. 

상온탱크 제어로 전력소모량이 적고 넓은 범위를 제어할 수 있으며 유체순환 및 공급펌프로 분리해 운영되게 설계해 비운전영역(프로버 공급없는 상태)에서도 온도제어에 유리하다. 온도영역별 운전제어모드를 이용해 부하 및 시스템별 불필요한 열에너지소비를 최소화해 에너지절감이 가능하다.

하드웨어뿐만 아니라 자체 소프트웨어 역량도 함께 키워왔으며 MTBF(평균 무장애 시간) 1만5,000시간(625일) 이상으로 뛰어난 안정성을 갖췄다.

또한 순간정전 기능으로 발생가능성이 높은 순간정전에 대해서 정전 후 곧바로 정상적인 제조활동이 가능토록 제조라인이나 각 장비차원에서 운전상태를 유지할 수 있도록 하고 있다. 반도체 제조 중에는 전력공급이 중단되면 순간정전이라도 천문학적인 경제적 손실이 뒤따른다. 순간정전기능 평가 결과 100% 전압강하 후 PLC(자동화제어장비) 유지전압까지 시간이 1,064ms(기준 1,000ms 이상)로 나타났다.

이와 함께 자체개발 컨트롤러 프로그램을 바탕으로 ESD공정에 특화된 고온 및 저온 정밀제어기술을 보유하고 있다. 칠러 성능 고도화를 위한 역량을 갖춘 제어전문가 그룹을 갖추고 있어 고객요구에 실시간으로 대응할 수 있다.

예스티는 칠러 핵심기술 요소인 온도제어기술, 유체공급기술, 안정적인 운영 등과 관련한 특허를 보유하고 있다. 20년 이상 반도체 ESD용 칠러를 생산해 온 만큼 오랜 시간 고도화를 거쳐왔으며 이러한 기술경쟁력을 바탕으로 업계 선두자리를 지켜왔다. 거듭되는 기술적 한계 극복을 위해 경영진과 개발진 모두 열정을 바탕으로 인력과 시간, 비용투자를 아끼지 않았다.

▎ 반도체 초저온칠러시장 트렌드는
반도체 장비들의 생산성 향상에 따라 장비 1대에 요구되는 칠러의 개수도 점점 많아지고 있다. 반도체를 생산하는 클린룸을 구축하기 위해서는 많은 비용이 들어가게 되는데 해당 공간에 최대한 작은 사이즈로 더 고도화된 성능의 장비를 배치하는 것이 중요하다. 

이에 따라 칠러가 차지하는 면적을 최소화하며 최대 효율을 내는 장비를 더욱 선호하는 추세다. 예스티도 칠러 외적 형태에서 콤팩트화에 대한 고객사의 지속적인 요청이 있어 간소화 및 모듈화에 초점을 맞춰 개발하고 있다.
 
▎ 그동안 주요성과는
예스티는 2002년 경기도 유망중소기업으로 선정된 이래 2005년 S전자 협성회 가입, 2016년 S디스플레이 협성회 가입 등 디스플레이와 반도체장비사업을 지속적으로 성장시켜 왔다. 

2017년에는 7,000만달러 수출탑을 수상했으며 20년 넘게 후공정 칠러공급 1위 기업을 유지하고 있다. 반도체 전공정으로 사업영역을 확장하기 위해 최근 HBM부문에서 성과를 내고 있으며 고압어닐장비기술 등을 확보해 나가고 있다.
 
▎ 올해 매출목표와 중장기 비전은
올해 매출목표는 지난해대비 20% 이상 증대하는 것이다. 목표달성을 위해 칠러사업도 더욱 강화할 방침으로 그동안 쌓아온 칠러기술과 노하우를 바탕으로 반도체를 넘어 타 사업영역으로 영토를 확장할 계획이다. 

예스티 칠러는 20년 이상 반도체 후공정을 대표하는 제품으로 초저온영역에 대한 각종 제어기술 역량을 발전시켜 왔다. 이를 바탕으로 콜드체인산업 진입을 목표로 하고 있으며 올해를 기점으로 분야확장 및 산·학과제 수행 등을 추진 중이다.

예를 들어 폐건전지는 운송 중 –30°C 이하 환경에서 활성화가 낮아지며 발화의 위험성이 낮아진다. 이와 같이 물류분야 및 의약품 등 초저온이 필요한 다양한 분야에서 사업영역을 넓혀나갈 계획이다.

칠러를 비롯한 모든 사업분야에서 연구개발을 통해 기업수익뿐만 아니라 사회적 기여를 할 수 있도록 정진할 계획이다.